二手 BUEHLER ECOMET III #9133292 待售

BUEHLER ECOMET III是先进的晶圆研磨研磨抛光设备。该系统旨在为单片研磨、研磨和抛光操作提供高精度的结果。它提供了卓越的精度，可重复性和表面光洁度控制，为更大的过程控制和更高的产量。这种多用途单元结合了全自动6轴机器人和精密直线电机级。6轴机器人提供的运动范围很广,包括两个横向运动轴、两个角运动轴和两个线性运动轴。精密直线电动机级提供了高性能的工作平台，具有高精度和重复性，为单晶片或多晶片应用提供了灵活性。该机还配备了ECOMET III软件包。此软件提供了一系列高级功能,包括直观的用户界面、交互式计划工具、流程控制功能以及用于跟踪流程性能的数学功能。该软件还包括一个集成的安全数据管理工具。BUEHLER ECOMET III适合各种应用包括；薄膜沉积、钝化、切丁和反磨。此外，它还可用于制图、设备隔离、稀释和计量。该资产还提供卓越的质量结果,具有可靠的可重复性。它还设计方便维护和操作，有一个集成的安全模型。此外,设备还包括各种控制选项,例如自动电平控制、远程监控和每个轴的反馈。此外,它还包括一组专用的模具适配器和样板支架,以实现更大的灵活性。最后，ECOMET III也获得ISO 9001认证，确保了最高质量的标准和工艺。所有部件均由优质材料制成，并遵守行业标准。此外，该系统经过了广泛的测试，以确保在苛刻的晶圆处理环境中的可靠运行。