二手 BUEHLER ECOMET III #9162398 待售
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BUEHLER ECOMET III是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,为中小型生产应用提供了一种高效、经济高效的解决方桉。该系统设计用于半导体、材料、光学和其他相关行业,旨在获得卓越性能的高质量结果。该单元采用铸铝框架,提供最大的稳定性和稳定性,确保可靠的操作和高精度的光洁度。研磨、研磨和抛光功能在一个模块中进行对齐和集成,该模块可以根据客户的需要由固体或复合部件组成。该机由ECOMET III Grinder、BUEHLER ECOMET III Lapper、ECOMET III Polisher和BUEHLER ECOMET III Loader四部分组成。磨床能够研磨直径达8英寸/200毫米的晶圆。它由0.25HP伺服电机和集成流体动力电路提供动力,用于磨削工具的变速操作。Lapper专为5 英寸/125mm的晶圆尺寸而设计,采用变速技术获得优异的抛光效果。它由0.125HP伺服电动机驱动,并配有三段精密圈速。Polisher专为1-4英寸/25-100毫米晶圆而设计,并由0.20 HP伺服电动机提供动力,转速范围为5-50 RPM。夹紧机构由杯式卡盘和防风卡盘组成。加载程序自动执行晶片处理过程,由一个独立控制器控制,最多可执行三个可编程作业。最后,ECOMET III是对半导体和其他材料进行研磨、研磨和抛光的高效且成本效益高的工具。该资产是为精确、高质量的结果和提高生产率而设计的。它采用坚固轻巧的框架构成,并通过其伺服电机技术确保可靠、精确的操作。
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