二手 BUEHLER ECOMET III #9178016 待售

BUEHLER ECOMET III是一种高精度晶圆研磨、研磨和抛光设备，非常适合半导体晶圆、光学元件和薄膜的制造和表征。单轴平台，加上精密的主轴和研磨夹具，使用户既可以高效研磨，也可以高效率地打圈。ECOMET III能够精确控制所有相关参数,例如负载、主轴速度、进料速率和研磨深度。它还包括自动传感器,用于监控晶圆温度,以便在抛光过程中精确研磨。BUEHLER ECOMET III利用微处理器技术和稳健的驱动系统来保持高精度。传动单元采用零反冲齿轮系，使机器能够在高速和狭窄的空间中以最小的间隙执行。该机还提供可选的螺距补偿,以确保均匀研磨.这种补偿可以在操作过程中进行调整，以保持工作表面的精确着装，并最大限度地减少磨碎或振动。ECOMET III包括一个可调节的研磨深度控制以及几个可调节的操作参数，如台速、主轴速度和进料速率。工艺参数可以根据所研磨的材料、所需的晶粒尺寸和所需的表面粗糙度而变化。这种灵活性使用户能够快速自定义每个操作以满足其特定需求。BUEHLER ECOMET III能够产生极精确的表面，表面饰面精湛。该工具利用磨削、研磨和抛光的三个不同阶段来产生高度抛光的表面。磨削阶段利用金刚石轮从晶圆中磨损一层薄薄的材料。研磨阶段用于通过创建允许材料和表面均匀性的小通道来细化表面。抛光阶段采用组合抛光垫，达到极细的光洁度，不会出现变形。ECOMET III设有一个完整的外壳，以确保操作期间的安全工作环境。该资产还包括一个真空清洗模型，以尽量减少环境中的灰尘存在和一个安全卫士与传感器停止。BUEHLER ECOMET III是晶圆和光学元件的制造、研究和表征的完美解决方桉。