二手 BUEHLER ECOMET V #9032870 待售

BUEHLER ECOMET V是为生产制造超精密半导体晶片而设计的先进晶圆研磨、研磨抛光设备。它利用专有的磨损和抛光技术来满足对平整度、形状精度和表面光洁度的严格要求。该系统的核心是先进的HTC金刚石研磨装置。双头润滑机可确保在磨削过程中适当分配冷却剂,而可调节的轮筒可对不同表面饰面的磨料晶粒选择进行微调。该工具还使用一组定位器来相对于电极和刷头定位基板，从而对研磨过程进行精确控制。对于研磨和抛光,ECOMET V利用多轴运动平台,该平台包含垂直、水平和圆形振荡的研磨和抛光头。实时过程监控资产提供了对实际参数的反馈，允许调整研磨机和研磨机。然后利用多级抛光技术实现所需的表面光洁度。第一阶段是发射台，在发射台上准备打磨表面。第二阶段采用金刚石磨料抛光垫，第三阶段也是最后一个阶段配备了一系列加工溶液，包括化学--机械抛光（CMP），以进一步提炼表面光洁度。BUEHLER ECOMET V包括一整套软件和杂项配件，用于将设备与其他制造工艺相结合。集成视频监控系统允许查看研磨、研磨和抛光过程，数据采集单元提供详细的数据记录。ECOMET V具有一套全面的安全特性，并经过认证符合所有当地安全法规。BUEHLER ECOMET V凭借其先进的研磨和抛光技术，为生产超精密晶圆元件提供了可靠、经济高效的解决方桉。