二手 BUEHLER MetaServ 250 #293825445 待售
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ID: 293825445
Grinder / Polisher
Wheel version: (Single/double)
Speed range: 50-500 RPM
Work discs diameter, 8"/10"
Pressure head:
Vector 250
Vector LC 250.
BUEHLER MetaServ 250是一款最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,其操作效率高、精确度高。它能够为研磨和抛光操作提供高精度和可重复性。MetaServ 250灵活且模块化的设计,便于定制和升级。它可以处理厚度范围从0.2mm到5mm的晶片,最大直径为150 mm。BUEHLER MetaServ 250使用8英寸研磨板,提供120毫米的面积,最多可容纳7个独立工作站,最大吞吐量。该系统采用松散磨料介质和固定磨料两种研磨磨料.首先,有一系列钻石悬浮液,根据工作要求,可提供不同等级、大小和浓度的钻石颗粒。松散的磨料被分配到晶片上,然后由设备收集,从而能够更好地控制工艺成本。固定磨料直接贴在研磨板上,在同一操作上提供更高的精度和可重复性。MetaServ 250还具有许多用户友好的增强功能。它包括一台自动装卸机,可以为手动和自动转移编程。此外,还可以从中央HMI控制台监测和管理一些变数,如无摇、磨料剂量、行进距离、速度和磨料选择。还包括过热保护工具,以确保操作过程中的安全。所有操作都可以由可选的MetaSuite软件监控、链接和管理。该软件提供了对过程参数的实时分析、完整的过程质量保证、完善的材料调度和管理以及一系列SPC工具。BUEHLER MetaServ 250是一种高效、精确的晶圆研磨、研磨和抛光资产。它的模块化设计提供了极大的灵活性,而用户友好的功能使其能够适应广泛的应用。结合可选的MetaSuite软件,MetaServ 250非常适合要求最苛刻的应用程序。
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