二手 BUEHLER MetaServ 250 #9265632 待售

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ID: 9265632
Grinder / Polisher.
BUEHLER MetaServ 250是一款晶圆研磨、研磨和抛光设备,提供多功能性和精确度的终极结合。该系统专为加工直径达250毫米的中小型半导体晶片而设计。集成到MetaServ 250中的浆料单元允许对晶圆研磨过程进行精确控制,从而导致表面缺陷的快速清除,并创造出高度均匀和抛光的光洁度。该机常用于外延加工、缺陷修复、背面研磨等应用。它实际上是免维护的,因为它不需要频繁的维修,而且它的高级控制器软件有助于确保可重复的结果。BUEHLER MetaServ 250还具有自动化过程监控和慢动作研磨功能,可增强对抛光过程的控制。该工具配备了创新的双头和单头研磨模块,可用于在晶圆表面上实现各种层次的粗糙度和清晰度。资产可以轻松处理一系列材料,包括硅基晶片、硬质石英基板和具有挑战性的陶瓷材料。MetaServ 250即使在复杂的晶圆几何上也提供了很高的可重复性,确保了每次生产运行时的性能一致。此模型还为研磨和抛光任务提供了广泛的速度、压力和温度控制选项,允许用户对过程进行微调以获得所需的结果。此外,其直观的用户界面允许针对特定协议和应用程序特定要求对设备进行轻松编程。总体而言,BUEHLER MetaServ 250是一个完整的晶圆研磨、研磨和抛光系统,也是半导体行业优越表面光洁度的最佳选择之一。其坚固的结构、自动化的工艺监视器以及各种各样的研磨和抛光选项,使其成为各种基于硅的晶片加工应用的理想解决方桉。
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