二手 BUEHLER Phoenix 4000 #177485 待售

BUEHLER Phoenix 4000是一种先进的自动化晶片研磨、研磨和抛光设备,设计用于晶片制造和薄膜沉积的最大吞吐量和工艺保真度。该系统消除了原晶片表面的半导体缺陷，保证了临界尺寸均匀性和晶片平面性的高产重复性。凤凰4000采用磨削、研磨和抛光三阶段工艺。在研磨阶段，自动化单元使用弹性体皮带快速准确地从晶片中去除材料，而研磨阶段则使用金刚石化合物和磨料纸在晶片表面实现光滑、均匀的光洁度。最后一个阶段的过程，抛光，然后被用来在晶圆表面上达到非常低的Ra（粗糙度平均值），并达到所需的薄膜沉积。BUEHLER Phoenix 4000还具有多种尖端的安全功能,包括一个用于防止灰尘颗粒的整体外壳和一个可调节的力传感器,用于监控在整个抛光过程中施加到晶圆上的压力。此外，它有一个自动晶片保护机器，以防止过度磨削和液晶屏显示器显示完整的过程控制。总之，Phoenix 4000是一种高度先进、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光工具，设计用于晶圆制造和薄膜沉积的最大通量和工艺保真度。它具有多种安全特性和工艺控制，以及各种弹性体带和金刚石化合物，具有准确性和可重复性。