二手 BUEHLER Phoenix 4000 #9377666 待售

BUEHLER Phoenix 4000是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于半导体工业。该系统设计用于在自动化、高精度的环境中研磨、研磨和抛光直径达8英寸的晶片。它能够处理大型生产运行,过程配方存储在最多50个板载内存插槽中。菲尼克斯4000配备了强大的直流电机和高扭矩驱动，用于精确研磨和研磨动作。主轴转速和受力可调节,可微调研磨和抛光参数.集成的喷嘴特性为去除晶圆表面的缺陷提供了必要的冷却和润滑。BUEHLER Phoenix 4000还具有钻石晶片头,该晶片头的设计目的是提供无毛刺或凹坑的光滑磨削。晶片头可针对不同的厚度进行调节以获得最佳性能。有许多配件可用于定制晶圆研磨、研磨和抛光工艺。其中包括多个磨料金刚石磨轮、一个主动冷却单元和一系列研磨浆料。Phoenix 4000还包括一系列增强功能,可实现研磨和研磨过程的自动化。其中包括一台用于监控晶片进度的高级视觉机器，以及一个用户友好界面，带有触摸屏控件，便于过程编辑和分析功能。各种分析工具均可用于监测晶圆温度、晶圆硬度和表面光洁度。内置数据记录功能记录并存储流程参数和数据,以便将来进行召回和分析。BUEHLER Phoenix 4000是半导体工业中高精度研磨、研磨和抛光晶圆的创新工具。它提供了卓越的性能,内置了分析工具、自动化的过程控制以及用于定制过程的一系列附件。