二手 BUEHLER Phoenix BETA #9288501 待售
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BUEHLER Phoenix BETA是为半导体工业开发的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用先进的三轴运动和振动控制单元,由大面积水平花岗岩台支撑。它的设计使晶圆厚度和表面粗糙度的精确、自动化控制成为可能。该机采用具有可调频率能力的大功率电动机来驱动快速研磨、打圈和抛光晶片表面的皮带进给工具。它还采用可编程数控输入来调整进料速率和切削深度,以达到预期的工艺效果。该装置在配备第二个磨料带套件时也能执行极地和非极地研磨。6轴运动的内置磨削和研磨头为磨轮提供了可调功率和转速。根据应用情况,操作员可以通过从一系列参数中进行选择来调整磨料带的功率和速度。晶圆清洗也是资产上的一个特点,允许处理后清除残留物。Phoenix BETA晶圆研磨、研磨和抛光模型旨在为一系列应用提供顶级品质。它具有快速、简单的调整机制,可实现最高的效率和灵活性。该设备还具有自动摩擦控制、晶圆差异自动补偿和直观的用户界面等多种功能,使系统易于设置和控制。简而言之,BUEHLER Phoenix BETA为那些在研磨、研磨和抛光晶片时需要精确和精确的制造商提供了理想的解决方桉。它是用于高容量、高精度操作和大面积过程的终极工具。该单元设定了晶圆研磨、研磨和抛光的新标准,旨在提供半导体行业要求的最高质量结果。
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