二手 BUEHLER Techmet #9033153 待售

BUEHLER Techmet是来自ITW公司BUEHLER的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统专为生产和研究应用而设计，提供精确、可重复的结果。该单元由一个集成的桌面底盘组成,其中包含多个子系统。研磨抛光操作由一台自动化的平板计算机控制的行星机器支持。它最多可容纳6个8英寸晶圆载波,每个载波的最大直径可达200毫米。该工具旨在提供研磨和抛光参数,以达到特定的性能要求。磨削阶段具有先进的高速、伺服控制的直线电机资产，在晶圆表面上具有广泛的运动范围。可调主轴深度在6至64微米之间，以精确控制研磨过程。此外,该模型还具有一个智能端点检测子系统,该子系统允许您精确监控和调整研磨参数。抛光操作还通过可调速度、运行时间和力参数实现自动化和控制。Techmet采用板载高分辨率成像剖面仪，编程为测量晶圆表面的重塑轮廓。这样就可以精确测量用于优化的关键尺寸,以及验证和质量控制。直观的用户界面由基于Windows的操作员控制组成,具有触摸屏,易于使用。此外,BUEHLER Techmet还提供分析和SPC数据采集功能。这允许更大的过程控制,有助于确保一致实现所需的规范,实现更高的产量,并减少浪费。综上所述，Techmet是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在使精密零件具有精确和可重复性。集成自动化系统具有高速、伺服控制的直线电机单元、可调节的速度、运行时间和力参数,以及车载高分辨率成像剖面仪。直观的用户界面、诊断系统和SPC数据采集提供了确保最佳性能所必需的强大工具。