二手 BULA BM 365 #9195106 待售

製造商
BULA
模型
BM 365
ID: 9195106
Polishing machines Round table diameter: 550mm Vertical stroke: 230mm Horizontal stroke: 210mm (4) Workpiece holder spindles (3) Polishing units Automatic grinding compound Machine hours: Approx. 21000h Extraction system: Ruwac Control: Siemens simatic S7 2007-2008 vintage.
BULA BM 365是一种高精度、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备,在多种材料中提供卓越的加工精度和性能。该系统标配两轴数控控制器,用于快速、精确的控制,用于精确研磨和研磨的强大主轴,以及自动晶圆分配单元。BM 365设计用于研磨和圈装直径达六英寸的半导体晶片。主轴配备0至2,500 RPM的可调速度范围,提供精确的研磨结果。这台机器最大的主轴功率为1.5KW,甚至可以处理最坚韧的材料.该工具还配备了气动滚筒夹具,确保晶圆的精确定位,提高加工精度。采用金刚石研磨介质进行研磨和抛光。主轴的高速允许短循环时间和优越的磨损质量。顶板可确保均匀旋转和自动压紧控制,从而获得优异的磨削效果。该资产还配备了真空模型,以确保有效的材料去除和晶圆的精确研磨。BULA BM 365包括两个自动晶片装卸站。设备还配备了全自动晶片分配系统,以显着减少循环时间。晶圆分配单元能够在真空或无氮模式下运行,这取决于工艺的要求。BM 365与计算机软件包兼容,最大灵活性。它具有以太网接口,便于远程连接和数据交换。机器直观、交互式的人机界面,使设置和操作既快捷又方便。BULA BM 365为各种材料的研磨、研磨和抛光提供了卓越的精度和精确度。凭借其特性和性能,该工具一定能帮助实现更高的产量并降低成本。
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