二手 CHICAGO 45813 #9197736 待售

CHICAGO 45813晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种综合研磨、研磨和抛光系统,适用于各种晶圆厚度。它用于超精密研磨和研磨至原子力显微镜（AFM）标准。该单元由低振动主轴、金刚石磨削和研磨轮以及低扰动抛光板组成。主轴设计用于高性能和低振动操作。它采用无刷直流电机与换向转子位置传感器，以及高分辨率反馈机调节速度。其获得专利的主轴设计具有无轴承的悬架，可最大限度地减少热量产生并实现更快、更精确的研磨。它还提高了操作过程中的精度和稳定性，同时保持了低振动水平。金刚石研磨和研磨轮利用金刚石树脂和金属粘结轮进行高效研磨和研磨操作。较粗糙的金刚石树脂轮设计为快速准确地定义晶圆的轮廓，而较细的金刚石金属键合轮则用来达到更平坦表面的最高品质。车轮具有可调的转速范围,提供卓越的表面饰面,最短的时间和精力.抛光板的设计是抛光晶片的顶部表面，而不产生任何进一步的振动。其低扰动设计确保抛光过程无损，表面得以保留。它利用变速范围来容纳软材料和硬材料,提供多功能性和一致的表面光洁度。总体而言,45813晶圆研磨、研磨和抛光工具为各种晶圆研磨和抛光操作提供了卓越的控制和灵活性。其设计目的是以最小的振动和扰动实现最大的精度和最佳的表面光洁度。此资产非常适合精密晶圆研磨、研磨和抛光应用。