二手 CHIPTON HS-R30 #9391002 待售

CHIPTON HS-R30晶片研磨、研磨和抛光设备是实现晶片表面光洁度优越的有效解决方桉。该系统专为各类晶片的高精度磨料抛光工艺而设计，范围从单晶硅到SiC、GaN、GaAs等等。HS-R30具有高速材料去除、无刮擦平整和表面表面极为均匀的能力。CHIPTON HS-R30单元具有一个双侧面研磨主轴,可在整个晶圆表面喷出高速颗粒。为确保磨削效果一致，该机配备了数字主轴转速控制单元和数字显示屏，用于监控主轴转速。此外，该工具还配备了工艺监控装置，以尽量减少磨削过冲。HS-R30上的研磨资产由高精度、可调的底板组成，精确地将晶片保持在所需的位置和角度。该车型还配备了强大的喷气式飞机，在整个研磨表面保持高精度的恒速。利用可调节的三轴级，该设备提供了一个大范围的运动，并能实现结果具有高度的平面度和精确度。CHIPTON HS-R30还附带了一系列的抛光工具，包括修剪器、刷子、床单和圆盘，这些工具可以进行调整以达到理想的效果。该系统配备了一个自动刀具定位装置，精度和可重复性能。HS-R30还有一个雾化装置，有助于调节施加在晶圆上的抛光压力。此外，真空装置有助于去除抛光过程中可能存在的任何额外磨料颗粒。总体而言，CHIPTON HS-R30是一种可靠、高精度的晶圆研磨、研磨和抛光机，具有精确度和重复性，可产生优异的表面光洁度。该工具具有高效高效的过程管理和可调节的功能,可适应许多应用程序并提供最优质的结果。