二手 CMV 5-25 #9045669 待售

CMV 5-25
製造商
CMV
模型
5-25
ID: 9045669
晶圆大小: 3"
Polisher, 3" (5) Spindle.
CMV 5-25是一种高级晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为各种工业应用提供高精度、高材料去除率和优越表面光洁度的组合。该系统由附着在高精度XYZ级上的高速主轴组件组成,可用于在三个维度上精确定位工件。主轴装置在顺时针和逆时针方向上运行,提供受控的研磨、研磨和抛光操作。该单元采用闭环伺服电机,允许高精度和重复性,以及高频主轴,用于高速运行。5-25刀具提供高材料去除率,表面饰面低至Ra 0.01微米。控制资产配备了多个程序存储器,这些存储器可用于存储各种单独的进程,以实现可重复和准确的结果。此外,还可以通过LCD触摸屏图形用户界面快速轻松地对流程周期进行编程。通过门锁、运动感应安全开关和断电等多种安全功能,确保了模型安全。该机还配备了相邻的外部泵和阀门控制控制台,可用于提供一系列液体辅助应用。该设备可用于进一步的精密加工,如后研磨和水/化学辅助精密抛光。这些泵还有助于喷射高速研磨过程中产生的热量。为了提供精确、可重复的系统控制,CMV 5-25单元采用高精度、多轴编码器设计,利用电容和感应测量尺度确保高性能。该机还配备了各种放大器和控制器系统,可沿三个轴对主轴进行高速、精确和可重复的运动控制。5-25刀具是研磨、研磨、抛光等工业晶片基应用中高精度、高材料去除率、优越表面光洁度的完美解决方桉。它提供了无与伦比的精度、可重复性和准确性,并增加了易于编程、更高的安全性和结合液体辅助工艺的能力。
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