二手 COBURN CMX 50 #9245010 待售

COBURN CMX 50晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种先进的生产系统,可满足扁平、薄、细腻基板的应用要求。这个单元结合了超精密的砂轮头与微观定位和研磨阶段，以更快、更准确和经济的生产过程。磨轮头采用了独特的分段设计，可实现精细部件的高精度磨削和抛光，对材料的应力和应力最小。砂轮头采用精密电机，空气轴承结构精确，定位严密。它还具有可调的速度控制和可调节的研磨力粗细研磨。此外，这个车轮头有一个集成的除尘机，有助于减少污染和内置冷却工具来控制温度。CMX 50的研磨抛光阶段提供了高精度的表面光洁度，消除了基板上的缺陷。它配有微型定位台，用于精确定位基板以及高精度旋转研磨板。旋转式研磨板可调节至300 rpm的速度，可处理直径在0.6至12.7 mm厚的基板，最大尺寸为150 mm。COBURN CMX 50可以处理各种晶圆和基材的大型生产运行。这项资产的精确、自动化流程可实现高速、提高精度、缩短周期时间和提高吞吐量。CMX 50是光学、光电、SEM和高性能集成电路精细晶片和基板的高精度研磨、研磨、抛光的理想选择。也适用于要求苛刻的纳米加工要求。