二手 CREATIVE TECHNOLOGY 36 DPAW #9361670 待售
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CREATIVE TECHNOLOGY 36 DPAW是一种自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于处理各种晶圆尺寸。该系统能够在一次操作中持续研磨和抛光多达36个晶圆。使用金刚石研磨和抛光装置,36 DPAW装备产生在0.10 um(表面)平坦度以内的平坦结果。机器上的数字触摸屏控制面板,方便为每个应用设置各种研磨/抛光角度、压力设置和刀具参数。控制面板包括与研磨/抛光工艺相关的所有参数。在晶圆磨削方面,CREATIVE TECHNOLOGY 36 DPAW利用高扭矩电动机和双压板底座对精密微加工的磨削压力进行精确控制。可调磨头和调节控制确保精确对准所需的角度。该资产利用一系列磨料磨削工具和抛光垫来产生所需的规格。研磨和抛光过程是通过使用磨料垫来轻轻地将晶片拉紧而完成的。当垫上的磨料穿过晶片时,金刚石研磨和抛光过程会以预先确定的图样从晶片侧面去除材料。对于每个研磨步骤,模型应用可调节压力,精确控制切削力、颗粒浓度和要去除的材料层厚度。36 DPAW设备采用了颗粒洗涤技术,以确保颗粒速度的均匀性,并在研磨和抛光过程中减少颗粒的嵌入和污染。当磨料介质旋转时,悬浮在液体溶液中的流化颗粒被推离介质表面,并在洗涤周期中容易被清除。洗涤后,流化后的颗粒被收集在废物容器中,以减少对环境的影响。在研磨和抛光过程之后,CREATIVE TECHNOLOGY 36 DPAW使用高压喷雾系统自动冲洗和清洁晶片。这种高压洗涤可以清除晶片表面上残留的残留物、污染或碎屑。洗涤后,吹出循环会迅速干燥晶片,并有助于加快生产过程。36 DPAW是一个用途极为广泛、功能强大的单元,旨在提供高效可靠的晶圆研磨、研磨和抛光。CREATIVE TECHNOLOGY 36 DPAW具有强大的电机、用户友好的控制以及可靠的颗粒洗涤和漂洗系统,非常适合当今要求最苛刻的晶圆处理环境。
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