二手 CRYSTAL COMPLETE INTERFACE / CCI Hi-Lap 421/432 #9066377 待售
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ID: 9066377
Polisher
4-Way, planetary lap
3mm stove-anameled steel cabinet
gear assembly and drive unit are built into a heavy casted aluminum corrosion resistant housing
Bearings, drive shafts and drive gears are made of stainless steel
Parts that come into contact with the abrasive slurries are coated with Zylon, or nylon in order to resist corrosion
Feed pump: optional
Manual bottle feed on top of the grooved plates
Waste slurry is collected in the aluminum well section beneath the bottom lap plate and is either returned to a waste container, or is recycled to the optional abrasive pump
Drive: 30:1 ratio with 190W DC drive motor
Electrical supply: 220/240V, single phase, 50/60Hz
Variable speed controller with Thirster DC controller
Inductive sensor
Programmable digital revolution counter
Control panel is fitted with a DC meter for a percentage reading of 100 RPM's for the machine's speed
Transat Automatic Lap Controller for auto shut-off and a target setting in MHz
Specs: 432, 421
Plate Diameter: 195mm, 195mm
Track Width 59mm, 36mm
Work pc Max Diameter 50mm, 30mm
DC Drive Motor 190 Watts, 190 Watts
Weight 150kgs, 150kgs
Carrier load 7 B/S, 5 B/S
Speed Variable, Variable .
CCI（CRYSTAL COMPLETE INTERFACE）Hi-Lap 421/432是为半导体工业设计的最先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。这个CMP系统由一个主轴组件组成，该组件容纳磨削和抛光部件，以及一个可使冷却水在整个单元中循环的腔室。主轴组件包括几个功能强大的研磨和抛光头，以及板载软件，使单个操作员能够快速、精确地调整每个头的研磨设置以及整个机器的工艺参数。该室配有空气/水分离器、毛衣加热器、循环泵和各种其他组件，在整个磨削和抛光过程中为保持工具的冷却和清洁而设计。该过程开始于晶片的研磨，用研磨头完成。研磨头是可调的，允许操作员选择他们需要的速度、功率和金刚石衬套尺寸，以达到所需的研磨质量。这可以在一个通道中完成,也可以在多个通道中完成。研磨过程完成后,资产就可以研磨了.在这里，一个研磨头用来使操作员在晶圆中达到精确的平坦度。金刚石衬套、抛光头、水温可根据各种产品参数进行微调。研磨完成后,模型即可进行抛光。抛光与研磨类似，但金刚石衬套尺寸较小，速度较高。抛光头也是可调节的，允许操作员选择最适合特定应用的主轴的速度、功率和直径。操作员还可以从各种抛光布和粘贴组合中进行选择，以获得所需的表面光洁度。CRYSTAL COMPLETE INTERFACE/CCI （CCI） Hi-Lap 421/432提供了一种灵活、经济高效的方法来获得最高质量和最可靠的晶圆研磨、研磨和抛光效果。它旨在容纳多种产品类型，其车载软件使单个操作员能够快速、精确地调整整个设备的研磨设置和工艺参数。此外,室内的空气/水分离器、毛衣加热器和循环泵可在整个研磨和抛光过程中保持系统的冷却和清洁。
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