二手 DA ZHEN TC-100S #9363769 待售
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DA ZHEN TC-100S是为生产先进半导体器件集成电路(ICs)而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它非常适合先进的纳米技术应用。该系统采用精磨、研磨和抛光相结合的三步工艺设计,用于生产先进的集成电路。TC-100S配备了由直接驱动主轴电机驱动的高性能研磨级。这款变速电动机运行在500至1,000 RPM之间,能够在晶圆表面上产生精确、可重复的光洁度,非常适合先进的IC生产。研磨阶段还配备了工件聚焦器,用于精确的晶圆定位,并确保整个晶圆表面的精确切割深度。工件聚焦器与主轴马达配合使用,以确保即使在最苛刻的条件下也能达到精确的光洁度。DA ZHEN TC-100S过程的第二步是研磨。这是使用由高扭矩马达驱动的旋转研磨轮来完成的。这种高扭矩电动机可以精确控制研磨轮的速度以及研磨轮与晶片表面接合的深度。结果是表面抛光,质量一致.TC-100S过程的第三步是抛光阶段。此步骤采用专门的金刚石抛光轮结合了一系列同心抛光点。这种组合确保晶片表面抛光至完美光滑的光洁度,并且没有任何不规则之处。系列同心抛光点有助于确保晶片表面无损伤,在生产过程中不易开裂。DA ZHEN TC-100S单元的整体运行设计要快速高效,同时仍能产生最高质量的效果。整个机器由微处理器控制,所有设置都容易调整,以确保磨削、研磨和抛光的最佳组合。整个工具也高度自动化,几乎完全免费维护,非常适合先进的半导体器件集成电路制造。
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