二手 DAITRON DBM-603 #9247683 待售

DAITRON DBM-603是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于各种基材和晶圆尺寸。它有一个6轴机器人手臂处理程序，配备了一个三轴无头主轴电机精确研磨和研磨操作。该系统可用于半导体晶片、器件基板、薄膜和包括玻璃、陶瓷和金属在内的光学材料。该单元提供了一个简单、高效的流程工作流和一个用户友好的界面。DBM-603稳定的主轴电机和动态的磨削模式调整，确保了精密的磨削和精加工。本机具有高精度的均匀表面光洁度.Robot Arm Handler配备了刚性刀架和集成空气卡盘，以获得精确的三维研磨图桉。刀具路径编辑器能够根据材料和晶圆大小设置研磨步骤和速度的变量。闭环控制工具稳定刀具扭矩以减少主轴电机的任何模型偏差。这样可以确保在基板上保持研磨参数,以便进行精确的研磨操作。DAITRON DBM-603的研磨过程包括一个集成的空气净化资产，以清除抛光表面的任何灰尘和颗粒。它还具有一个电阻加热模型，支持快速和均匀研磨。DBM-603与各种不同尺寸和材料组合的研磨盘兼容。这样就可以在单个通道内实现所需的均匀性和表面光洁度。自动主轴加载设备可确保将研磨工具快速无误地加载到电机甲板。DAITRON DBM-603的抛光系统与5程序选择单元集成在一起，可方便地选择抛光参数和步骤。该机还具有自动校正自动压力机构，可监控抛光垫和基板之间的接触压力。这样可以确保准确和均匀的抛光结果。该工具还配备了滤水器，以清除抛光表面的任何污垢。DBM-603配备了一个强大的软件包来配置研磨，研磨和抛光过程。软件采用各种数据管理工具来存储和监控研磨和抛光参数，如压力、速度、进料速率、冲程数等。它还提供各种图形工具来评估抛光结果和迭加图像进行比较。DAITRON DBM-603以最短的安装时间提供可靠的结果以降低生产成本。这一资产也是紧凑的，需要极少的维护，使其成为精密晶圆研磨、研磨和抛光的高效工具。