二手 DISCO DAG 810 #293759189 待售
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DISCO DAG 810晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种自动化的独立系统,旨在为半导体及相关行业提供精确的计量和研磨能力。该单元由几个模块组成,包括一个扫描级和一个具有固定抛光台和晶片支架的研磨抛光单元。该机器可以很容易地集成到现有的制造操作中。DISCO DAG810的主要特点包括一个大型磨台,带有多种工具,如金刚石磨轮、圆盘和金刚石毛毡轮。这些工具使用户能够有效地执行各种研磨过程,如高精度研磨和研磨。晶圆架包括一个可调的行程行程,以容纳一个范围的形状晶圆。研磨阶段还配备了用于提高和降低晶片的夹具,这样可以在进行研磨操作时进行更大的控制。晶圆座还兼作抛光模组,具有气动机构快速精确地升降抛光台。此功能非常适合高质量抛光操作,如CMP和CP抛光。DAG 810还设有一个扫描阶段,用于在研磨和抛光操作过程中检查、测量和分析晶片。该工具配有大视场,用于精确检查和扫描晶圆的参数,如直径、晶圆翻转角和倾斜度。扫描阶段还包括一个自动化的高精度3维扫描机构,用于分析各种参数,如表面质量、表面粗糙度和缺陷标准。资产还包括一个自动化的CCD成像模型,它允许用户进行各种类型的晶圆检查和/或评估表面光洁度。该设备还包括一个可用于精确测量晶片厚度、曲率半径和角度的触摸测量系统。总体而言,DAG810自动研磨、研磨和抛光装置非常适合那些需要精确和精确研磨和抛光操作的操作。这台机器设计的特点和产品支持更高的准确性,可重复性和可靠性。它为用户提供了一种安全可靠的方式来研磨和仔细检查半导体晶片的最高收率。
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