二手 DISCO DAG 810 #293794154 待售

DISCO DAG 810是一款最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于高精度晶圆的精密和大批量生产。该系统具有机械臂和集成光学检查功能，可实现自动化操作和质量保证。磨削台阶包含一个DCG003A磨轮,控制转速为600至800 rpm。粗糙的研磨过程使用细金刚石砂砾来实现所需的45°倒角，以最小的毛刺确保完美的晶圆转弯。磨削装置提供600至4000 RPM的可调速率，允许各种厚度和特定特性的高压磨削。该装置还配备了压力传感器，可对研磨参数进行精确控制和监测。研磨步骤包括磨料如金刚石浆料和干抛光垫。这些浆料和垫料通过水动力耦合到晶圆表面，从而实现了材料的高精度抛光和去除。研磨由旋转控制，转速在50至1000 RPM之间，确保了一致的抛光效果。在研磨步骤之后,进行抛光过程。在抛光步骤中，使用独特的高精度抛光设计的DCP-T100工艺头将各种抛光化合物应用于晶圆表面。该装置是气动驱动的可靠和可重复抛光操作。抛光所用的压力是可调的，可以最佳地应用转速和压力。集成真空机防止磨料浆散射，保持清洁的工作环境。最后,集成光学检查通过检查晶片表面存在的任何异物的倒角形状、毛刺高度、角形,有助于优化生产质量。该工具每分钟可测试100个晶圆，从而实现高效的质量控制。简而言之，DISCO DAG810晶片研磨、研磨、抛光资产被设计为提供高精度、高容量的晶片生产。集成的光学检查模型允许生产过程的自动化操作和质量保证。此设备非常适合需要一流性能和质量的精密应用。