二手 DISCO DAG 810 #9228239 待售

DISCO DAG 810是高度通用、全自动、闭环晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统是为满足先进半导体器件制造的需要而设计的，在这种情况下，需要大量生产表面光洁度更高、精度更高的晶片。DISCO DAG810具有一个专用的机器平台,具有单一的工作台设计,最多可容纳8个加工盒式磁带,每个盒式磁带最多可容纳150个晶圆片。这允许对多个晶圆大小进行高速顺序处理。该表还具有x轴和y轴的线性运动,使晶片能够准确、快速地定位到加工位置。该单元使用最新的研磨、研磨和抛光工艺来快速、准确地实现所需的表面光洁度。专用的金刚石磨轮、板槽、抛光盘安装在DAG 810上，允许在需要时快速方便地更换。用于研磨过程的研磨轮设计独特，可产生精细、光滑的表面光洁度。开槽工具放置在机器的底部，用于在晶片表面创建凹槽和脊，以改善晶片和掺杂剂之间的接触。抛光过程中使用的抛光圆盘具有优异的磨料性能，确保了高度抛光的表面光洁度。该工具的用户友好软件界面使用户能够轻松方便地监控和控制每个流程的参数。监测资产提供了有关流程参数的实时反馈，能够快速、精确地进行调整，以确保获得最佳质量结果。该模型还提供自我诊断功能,以确保设备始终处于最佳运行状态。DAG810旨在提供快速、准确的晶圆研磨、研磨和抛光工艺,同时保持最高的质量控制标准并提供最大的灵活性。该系统是高效、准确处理各种晶圆尺寸、形状和曲面的理想解决方桉。