二手 DISCO DAG 810 #9249939 待售
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DISCO DAG 810晶片研磨研磨抛光设备是单面研磨、研磨、抛光半导体晶片的理想系统。该装置设计简便易行,提供可靠高效的晶片处理。DISCO DAG810拥有一台自动化机器,可处理多达8个晶片,直径可达6英寸,厚度可达100 μ米。它采用金刚石砂轮,可提供高达0.1微米Ra的高精度表面光洁度,适用于硅、石英和蓝宝石。该工具还具有自动空气轴承圈板,其主轴转速范围为1-1000 rpm,以适应不同的材料和工艺条件。该资产可根据应用程序配备工艺头的选择,包括金刚石研磨、研磨和抛光头。用户可以快速轻松地切换磁头。该模型具有集成视觉设备,用于实现精密晶片对准和工艺状态控制。视觉系统调整晶片与磨削、研磨和抛光头的对准,并提供主轴速度读数。视觉单元还可以检测晶片或工艺条件中可能影响工艺结果的任何缺陷。该机具有最先进的安全特性和操作员的人体工程学设计。安全功能包括防止与机器运行部件意外接触的安全屏幕和联锁装置。集成操作员界面在工具运行不正确时显示警报,操作员可以通过触摸屏显示控制流程条件和设置。来自DISCO的DAG 810晶圆研磨、研磨和抛光设备可靠高效,表面光洁度优良,效果均匀、可重复。该型号具有先进的安全特性和易于使用的界面,是各种单面研磨、研磨和抛光应用的理想选择。
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