二手 DISCO DAG 810 #9394642 待售

DISCO DAG 810是一款高性能晶圆研磨、研磨抛光设备。该系统设计用于在半导体和其他硬质材料中研磨、打磨和抛光精密几何形状和精细表面纹理的元件。DISCO DAG810具有精密陶瓷盘磨盘、双主轴磨盘和研磨盘以及精密抛光板，可对各种部件进行精密加工。磨盘由高精度陶瓷盘制成，精确同心度在0.5微米以内，平坦度在1微米以内。双主轴磨削和研磨板由两个独立的主轴驱动，以提高加工效率。在研磨和研磨过程中使用真空卡盘固定工件，并设计用于将工件的平整度保持到0.15微米。精密抛光板由单一预抛光表面构成，可考虑较少参数的高抛光质量，以及具有最小噪音和灰尘的改进抛光性能。抛光头由直流电动机提供动力,可配置转速范围为0-2500 RPM。末端效应器是气动致动的，利用抛光膜提供精确光滑的光洁度。还包括一个高压气动抛光头，提供了强大的压力，从而增加了每次单位的抛光面积，以提高加工效率。该装置设计用于硬质材料的高精度加工和抛光，具有精密聚焦控制器，可提供精确的主轴速度和进给率控制。该控制器还具有自动定位和速率控制功能,可实现晶圆的最佳定位和操作.最后，设计了DAG 810型空气机械，用于高精度的空气轴承控制，保证了高精度的处理和消除沉降时间。DAG 810的先进功能为制造商提供了高效可靠的晶圆研磨、研磨和抛光工具。