二手 DISCO DFG 821 F/8 #9358726 待售
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DISCO DFG 821 F/8是一种高性能晶片研磨、研磨抛光机,专门设计用于容纳直径达8英寸(203毫米)的硅片的超精细加工。它是一个完全自动化的独立设备,由研磨和抛光站、抛光机系统以及用于在晶圆上涂抹润滑剂和保护涂层的旋转涂层组成。该机能够进行极其精确的研磨操作,以达到可达到的最高质量的表面光洁度。磨床站由安装的主轴组成,外侧装有金刚石轮,便于接触切削深度、转速、磨料种类等磨削参数。固定板也可以针对晶片的放置进行调整,以达到所需的表面光洁度。该机配备非接触式空气轴承主轴,提供精密研磨,同时保护表面免受热损伤。抛光站设有一个封闭的抛光室,该抛光室与一个装有金刚石磨料和异丙醇溷合物的压力罐相连。可以调整压力罐,以优化抛光过程中施加在晶片上的力,确保均匀抛光和优越的最终光洁度。自旋涂层设计用于在抛光过程中将均匀的润滑剂或保护性涂层分配到晶圆上,以确保均匀的表面整理。DISCO DFG 821 F/8配备了晶片的自动装卸,允许几个晶片在一个周期内处理。该单元还具有直观的液晶控制面板,便于编程和监测研磨和抛光过程。此外,本机兼容研磨/抛光工艺的多面,包括台式台式台式研磨、单面研磨、多面研磨。DISCO DFG821 F/8能够实现极高的加工精度和表面质量,非常适合半导体电路制造、微机电系统制造和其他相关行业。这台机器既可靠又高效,使客户能够可靠地生产高质量的晶片,同时将生产成本保持在最低水平。
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