二手 DISCO DFG 83H/6 #293774136 待售

DISCO DFG 83H/6是一种直列CMP（化学机械平面化）设备，提供晶圆研磨、研磨和抛光服务。该系统采用6个磨削和6个抛光头的阵列。这样就可以一次加载和处理单个晶片,从而实现高吞吐量和吞吐量均匀性。该单元还在晶圆表面提供了极其精确和均匀的光洁度。该机配备了创新的研磨/研磨组合，能够在一个过程中研磨和搭接晶片。这样可以减少晶片的整体处理时间，同时保持优越的晶片精加工质量。此外,该工具还配备了用于研磨和抛光的真空通道,具有独特的自动控制资产,可优化压力和均匀精加工。该模型还配备了诊断设备，为稳定性和数据分析提供实时系统监控。该单元有助于确保在整个研磨和抛光过程中具有很高的工艺重复性和鲁棒性。机器还有一个独特的自动加载和卸载工具，这有助于减轻过程中处理晶片可能产生的污染物和其他颗粒的潜力。资产还提供了一个自动化的原位测量模型，可用于直接检查设备上的晶片。这有助于确保过程参数在整个过程中保持在控制范围内。再者，系统还配备了中央卫士单元，有助于在同时处理几个晶片的同时提供保护。总体而言，DISCO DFG 83H6是一个强大可靠的机器，提供卓越的晶圆研磨，研磨和抛光操作，高通量和优秀的晶圆光洁度。该工具提高了晶片产量，提高了工艺稳定性，减少了废物，提高了工艺可重复性，改进了工艺监测，消除了人工清洗晶片的需要。