二手 DISCO DFG 840HS #9054572 待售

DISCO DFG 840HS是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在实现半导体器件制造过程中的高级工艺控制和精度。该系统是备受赞誉的DISCO工艺研磨、研磨和抛光系统系列中的最新型号,并提供最新的创新和工程设计,以反映设备制造中最先进的行业标准。840HS包括高速砂轮基座单元、自动研磨机基座、抛光头以及其他几个可以针对特定晶圆加工要求定制的组件。研磨研磨过程由高频主轴电机驱动，采用独特的专有步进电机技术完成抛光。此技术可确保磨削、研磨和抛光阶段的最高工艺精度和控制水平,同时将操作员的疲劳和维护要求降至最低。该840HS单元采用了创新的主轴和驱动器的组合，这些主轴和驱动器协同工作，形成了先进的晶圆研磨、研磨和抛光工艺。这台机器还包括一些额外的组件，便于一致和精确的操作。例如，抛光包括高度先进的张力辊工具，有助于在抛光过程中保持均匀的晶片张力，同时防止晶片变形或损坏。840HS中的自动研磨过程是完全自动化的,具有高度精确的可重复性。该工艺利用经过校准的油泵来精确地控制研磨参数，而一种特殊的线性驱动装置则能确保晶圆的精密研磨和均匀研磨。该840HS还配备了高级流程监控模型,具有颜色编码图形和触摸屏仪表板,可提供有关流程执行准确性的图形反馈。为了确保流程的一致性，840HS还配备了一系列先进的传感器和计量系统。该设备包括最先进的温度、振动和压力监测传感器,用于检测工艺参数中的异常并帮助实时调整参数。这有助于保持最高级别的过程精度和控制,同时最大程度地减少操作员疲劳和闲置时间。总体而言,DISCO DFG 840 HS是一种先进的工艺平整、研磨、研磨和抛光系统,可提供半导体器件制造的最高精度和精确度。其自动化研磨、高精度主轴电机技术和用户友好界面的结合，使其成为任何半导体器件工艺平整应用的理想选择。