二手 DISCO DFG 840HS #9119673 待售

DISCO DFG 840HS是用于半导体制造设施的精密半导体晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统利用最新的研磨抛光技术,实现亚微米特性的超精密、高速研磨和抛光,并生产缺陷较少的光学平坦表面。为确保最高质量的结果，DISCO DFG 840 HS采用高速研磨、研磨和抛光技术相结合。其研磨头利用一个可控平整度为0.5 μ m的旋转金刚石轮，其独特的控制单元保持0.5至3.2 N/mm的精确研磨力。金刚石车轮采用了一种精密的图样设计技术来优化磨削效果，同时避免地下损坏。此外，该机包含两步研磨板，具有低粗糙度氧化铝研磨板和高粗糙度金刚石研磨板。该工具还采用了横滑抛光头，利用线性和旋转运动的组合来实现高质量的表面饰面。资产包含一个数字电动机，控制电动机的速度和方向，允许精确和可重复的运动。该电动机还包含一个专利的进给控制模型，该模型限制晶圆上的负载，以确保抛光操作过程中不会发生损坏。设备还配备了多种测量和分析工具，以保证结果的质量。它包括一个3轴表面检查系统，在强制潜水显微镜上装有CCD相机。这允许用户测量晶圆固体的平坦度和步高，从而可以检测到任何潜在的刮擦、断裂和其他不规则现象。此外，电阻率机器可以测量薄膜厚度和均匀性，不需要人工检查。总体而言，DFG 840HS是一种功能强大和创新的半导体晶圆研磨、研磨和抛光装置，能够在缺陷最小的情况下实现精确和可重复的结果。它包括先进的研磨和抛光技术，以及各种测量和分析工具，使其成为晶圆制造设施的宝贵资产。