二手 DISCO DFG 841 #9155028 待售
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ID: 9155028
优质的: 1997
Grinder
(2) Cassettes running (2) substrates simultaneously
DVC010 Vacuum cooling unit
(2) Spindles
Table type: Porous chuck table
Chuck method: Vacuum
Grinding wheel: Diamond wheel, 8"
1997 vintage.
DISCO DFG 841是为小规模生产而设计的晶圆研磨研磨抛光系统。它提供了将晶片边缘加工到特定形状、将晶片磨削到微米级精度的能力,并在一个步骤中将其抛光到镜面光洁度。该系统具有紧凑、高效的设计,能够满足广泛的应用。DISCO DFG841包括研磨阶段、抛光阶段和成品晶片研磨阶段。研磨阶段采用高精度转盘和砂轮，确保精密研磨到精确的形状和精加工。还采用了精确的角度调节技术来保证均匀的边缘轮廓.抛光阶段采用专门设计的橡胶砂轮进一步提炼和抛光晶片表面。即使不使用额外的抛光材料,组合过程也会产生均匀的表面粗糙度和镜面表面。此外,DFG 841还自动调整抛光参数,以确保结果一致可靠.可以使用显微镜对过程进行实时监测，从而对过程进行反馈控制。该系统包含许多功能,以支持处理各种晶圆大小和形状,例如非平行地形、深度控制和过程管理。总而言之，DFG841提供了一种高效、经济高效的方式来研磨，膝部和抛光晶片精确微米精度和镜面光洁度在一个步骤。先进的设计能够产生可重复的结果，应用范围广泛，适合各种生产运行。
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