二手 DISCO DFG 850 #9090405 待售
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DISCO DFG 850晶圆研磨、研磨及抛光设备是半导体加工业的高精度研磨抛光机,具有全封闭设计。它配备了一对高速、高精度的研磨轮,可以快速、精确地研磨和搭接晶片。磨轮安装在CNC控制的摆臂上,该摆臂以360度的全弧度移动,以精确地研磨和膝盖晶圆的平坦和外围表面。该系统还具有高精度抛光机构。这种互锁抛光装置能够在预定义的参数下精确研磨和抛光晶片表面,从而产生镜面光洁度。该平台采用集成真空机,减少研磨和抛光过程中产生的芯片数量。此外,该工具还具有连续清洁机制,使晶圆表面在整个研磨和抛光过程中保持清洁。DISCO DFG850资产能够处理直径范围在8-250 mm之间的晶圆。该模型包括全自动加载功能,允许两个晶片同时加载到研磨阶段,然后用一个按钮按设备自动切换到抛光阶段。这样就不需要人工处理晶圆,大大减少了污染或未对准的可能性。该系统配备了一系列安全功能,包括紧急停止按钮、安全联锁和门安全开关。此外,该装置的设计采用了符合欧洲EUGR标准规范的声学和粒子排放,使其操作安全,适合在洁净室环境中使用。综上所述,DFG-850晶圆研磨、研磨和抛光机是一种高度精确、全封闭的工具,具有一系列先进的特点,使其能够快速准确地加工一系列晶圆尺寸,同时还提供了低颗粒发射和安全的操作环境。
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