二手 DISCO DFG 8540 #9225618 待售

DISCO DGF 8540是一款高精度、多功能晶圆研磨、研磨抛光设备，专为半导体行业而设计。该系统能够处理各种晶圆尺寸，从3英寸到300毫米不等，并配备了一系列用户友好和先进的功能，以提供最佳的过程可重复性。DISCO DGF 8540由几个核心组件组成,包括主机架、CCD摄像头和用户界面PC。该单元的主框架由铸铁底座、电动级和减振台组成。工业级X级和Y级提供了0.1 μ m的高精度定位和可重复路径精度。强大的1.5kW主轴电机配有气动主轴驱动器，用于变速研磨、研磨或抛光。该机装有液冷主轴，能够操作高达80,000 RPM，用于高效晶圆加工操作。集成的CCD摄像头允许对液晶显示器上的加工晶片进行非接触式检查，并允许在不停止生产的情况下实时调整工艺参数。基于PC的用户界面提供了友好、直观的图形显示,可帮助指导用户完成整个过程。该工具能够存储多个配方并对其进行编辑,以及处理环境监视和日志记录。DISCO DGF 8540具有干磨和湿磨两种工艺的能力，专门设计用于减少颗粒生成，同时提供了一种更具成本效益的替代人工加工的方法。该资产提供一致且可重复的结果，最小粒径为11nm。晶圆研磨型号有单头和双头两种配置，并配有机器人晶圆加载设备，以增加便利。DISCO DGF 8540是高容量晶圆研磨、研磨、抛光应用的理想选择。其先进的特性、高精度和可重复性使其成为任何半导体加工设施的宝贵补充。