二手 DISCO DFG 8540 #9230301 待售

DISCO DFG 8540晶片研磨、研磨和抛光设备是用于研磨、膝盖和抛光半导体和光学晶片的最先进的设置。该系统由两台平磨、角磨数控磨床、单面抛光机、双面抛光机和空气研磨抛光机组成。CNC利用球杆、伺服电动机和线性刻度实现了完全自动化，保证了每次通过的精度，X和Y轴可以移动到360度，分辨率为0.001mm，最大进给速度为20m/min。此外，该单元可以在一个非常小的区域进行研磨，在那里可以精确地控制切削深度。抛光机带有内置的手臂组件,当晶片在垫上移动时,该组件对晶片提供均匀的压力。双面抛光机包括上下两个独立的机械臂，可同时容纳多个晶片。每个臂都装有接触控制系统，以确保对每个晶片施加均匀的压力，并且无需手动校准。空气研磨抛光机由两个臂组成，两个臂由两个独立的电动机驱动，每个臂都有两个用于固定晶片的板。它采用超声波工艺，产生均匀、重复的图桉，确保均匀的抛光表面。本机理论精度范围为+/-0.1至0.005 mm，而转速可由900转调整至6000rpm。DISCO DFG8540是一个强大的机器设计，以产生最高质量的晶圆表面。它配备了磨削、研磨和抛光方面的最新技术，产生了持续一致的工艺结果，并经过了多个级别的验证。该工具的设计也考虑到了用户友好的操作,提供了许多易于阅读的显示器和广泛的流程设置,以确保每次通过时都能获得最高的效率。