二手 DISCO DFG 8540 #9395420 待售

DISCO DFG 8540晶片研磨、研磨和抛光设备是一种高精度、自动化的机床，用于在半导体晶片上创建光滑、平坦的表面。该系统能够处理从钨到石英的各种不同尺寸和形状的任何材料。DISCO DFG8540具有先进的设计,使其能够在最短的设置时间内快速准确地运行。该机包括一个高精度和易于使用的研磨/抛光头主轴，使其能够达到低于0.5 μ米的平坦度值。此外,该单元还可以容纳各种研磨/抛光垫和工艺变化,包括晶圆通孔和板面加工。该机采用5轴运动控制和永磁直驱直线电机，提供高精度步进运动和动态响应速率。此外,该工具还可实现3D研磨和抛光控制,使操作员能够实现高达0.05-μ m精度的平面化。DFG 8540还具有经过优化的CCD资产,旨在为整个过程控制提供高分辨率的数字反馈。该模型能够测量位移、平面高度位移、表面粗糙度和圆度。该设备还具有高速伺服驱动器，用于优化研磨速率和抛光工艺。此外，DFG8540还配备了真空卡盘，以提高晶圆的平整度，使操作员能够在与传统工艺相比的一小部分时间内取得成果。总体而言,DISCO DFG 8540是在半导体晶片上创建接近完美曲面的理想解决方桉。凭借其5轴运动控制、高精度步进运动能力和优化的CCD系统，该单元提供了最大的精度和精确度，同时以其高速伺服驱动提供了无与伦比的速度和效率。