二手 DISCO DFG 8560 #293636784 待售

ID: 293636784
优质的: 2016
Grinder 2016 vintage.
DISCO DFG 8560是一种最先进的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。它非常适合处理小模具尺寸(低至0.1毫米间距及以上),并具有复杂的图样或细腻的金属层。该系统配有晶片处理单元,使其能够在一个过程中高速、精确地对晶片进行研磨、研磨和抛光。DISCO DFG8560旨在提供经济高效且可重复的生产运行,并具有出色的工艺质量。智能集成控制机器和用户友好的GUI使工具的操作变得简单易用。DISCO Grinder允许快速访问工艺参数,并允许操作员保存和召回以前的设置以进行可重复操作。资产配备了两台独立的磨床,每台由单独的伺服电机驱动。DFG 8560具有用于晶圆两侧研磨抛光的双位研磨压板。它能够产生优良的表面质量。过程控制模型允许设置和监视精确的过程参数。该设备的最小厚度精度为0.001mm,最大加速度为15G,最大主轴转速为6000 RPM。DISCO系统还具有集成的自动对焦单元和图像分析算法来监控过程质量。该机还包括内置的光学粒径分析仪,可用于分析晶圆表面的粒径分布。此外,该工具还包括一个自动晶片盒式磁带和盒式磁带卸载系统,提供额外的可靠性和提高的吞吐量。它还包括一个资产自动化模型,它能够进行远程操作、故障检测、事件记录和传感器控制。DFG8560为精密晶片研磨、研磨和抛光操作提供了一个高效的解决方桉,能够实现卓越的表面质量。它适用于生产规模的工艺,例如半导体工业。该设备的先进功能,如直观、用户友好的GUI、自动化过程以及集成的自动对焦系统和图像分析算法,使其成为精确、经济高效的应用程序处理的绝佳选择。
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