二手 DISCO DFG 8560 #293827490 待售

DISCO DFG 8560是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于制备圆形和矩形晶圆。它非常适合在包括半导体、微电子、光学和数据存储应用在内的广泛行业中的超精密应用。DISCO DFG8560配备了先进的研磨、研磨和抛光系统，具有稳定可靠的精密运动伺服控制器。它能够处理直径达150毫米、高度达10毫米的晶片，并且可以容纳多种晶片尺寸。该单元还有一个真空晶片卡盘，可同时容纳多达8个晶片与直接气动控制。这样可以保证晶片之间的加工均匀性,从而获得最佳的精度和质量。抛光过程从去离子化/蒸馏水介质开始。这是用来确保一个一致的清洁和研磨过程。抛光使用特殊的涂层圆盘完成,并根据客户的要求预先选择磨砂大小和浆料浓度。圆盘以250至1500 rpm的速度稳定旋转,不断调整以获得最佳抛光速度。DFG 8560可用于湿磨和干磨、研磨和抛光工艺。其两个独立的搅拌系统通过均匀分配磨料浆料来确保最大的抛光效率。这也保证了晶片表面光洁度、轮廓、粒径分布和粗糙度的均匀性。该设备配备了所有关键行动的安全罩，可防止任何人员伤亡。它有一个自动防溅板，可以防止任何类型的液体溢出到地板上，还有一个高温显示窗口，用于监测研磨、研磨和抛光过程。该机还包括一个用于净水的DI供水、一个收集废液的液体废物收集罐、一个真空泵以及一个全自动磨料浆液过滤工具，以确保磨料的完全使用和再利用。DFG8560是一种高度自动化的资产,专为精确且可重复的晶圆研磨、研磨和抛光应用而设计。其先进的模型特性确保了优越的晶圆光洁度，使其成为高精度表面处理应用的理想选择。