二手 DISCO DFG 8560 #293827491 待售

DISCO DFG 8560是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于处理直径达8英寸的平面和3D半导体晶圆。该系统紧凑灵活，允许处理单面和双面晶片。它专为处理硅和高K介电材料而设计。DISCO DFG8560利用研磨、抛光和研磨相结合的阶段来实现精确的纳米级表面光洁度。它配备了DISCO多用途抛光单元（VPU）,利用两个独立的旋转和轨道、高精度、精细的间距圆盘来实现非常精确的平整度和表面光洁度控制。此外，该装置还装有高性能清洁机器，利用空气和化学溶液确保所有污染物得到有效清除。工具包括专用的调理单元，用于研磨和研磨。它采用金刚石研磨和SiC研磨板的组合设计，可有效加工平面和3D基板。该资产还采用了先进的冷却模式，以确保从加工过程中有效地除热。用户友好的触摸屏界面，让晶圆工艺配方和参数的设置更加轻松。用户可以从一系列研磨、研磨和抛光步骤中进行选择,并修改每个步骤的参数,例如速度、压力、速度和螺距。这允许最大程度的灵活性和对基板表面光洁度的控制。DFG 8560配备了全面的安全功能，以确保操作员和加工室内敏感基板的安全。它兼有紧急停止按钮和门联锁设备，以防止操作员受伤。它还具有环境传感器来监控过程环境,以确保最高级别的安全。DFG8560是一种可靠、高效、可复制的晶圆研磨、研磨和抛光系统。它兼具手动和自动操作模式，并具备全面的内置安全功能，以确保机组及其操作员的安全。它旨在为各种半导体加工应用提供精确的纳米级表面饰面。