二手 DISCO DFG 8560 #9254255 待售

ID: 9254255
晶圆大小: 6"-12"
优质的: 2009
Grinder, 6"-12" 2009 vintage.
DISCO DFG 8560是一种自动化的全尺寸晶圆研磨、研磨和抛光设备。它专为满足直径不超过8英寸的石英、硅和陶瓷晶片的各种加工需求而设计。DISCO DFG8560提供高通量生产的最高精度、精确度和可重复性。DFG 8560能够精密晶圆研磨、研磨、抛光。设计采用双臂伺服机器人晶片处理系统,可实现单级或多级晶片装卸。所有运动都由高速伺服电动机和精密直线电动机和滑轨控制,以实现可靠和可重复的操作。磨头配备了可调节的轮轴和快速更换的轮毂,以高效研磨。砂轮的磨削寿命长,产生的碎屑少。研磨台使用滑动台单元和力反馈机进行高度精确的研磨操作。圈板采用快速释放机构设计,可快速更换盘片,易于维护。精密旋转台由无刷伺服电机驱动,能够在广泛的转速和受力范围内提供更高的精度和稳定性。抛光工具具有动态自动压力资产,可减少负载压力变化,并为抛光结果提供更高的一致性。抛光台采用无刷伺服电动机驱动,具有快速更换机构,可快速轻松地更换垫子。该模型还提供了调整螺距、加速度和速度的能力,以便快速和高度精确的抛光结果。DFG8560先进的PLC控制器配有高性能CPU和综合软件包。可编程逻辑控制器提供高度灵活的自动化功能,允许用户从一个中心位置控制和监视处理条件。DISCO DFG 8560设计用于半导体晶片、复合晶片、MEMS晶片、陶瓷基板等相关行业的生产。DISCO DFG8560结构坚固,抛光效果优异,是满足工业生产需求的理想设备。
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