二手 DISCO DFG 860 #9355526 待售

DISCO DFG 860是一款先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于加工半导体、研发和光学行业的小部件。该系统具有高效的行星研磨单元，有四个工作站。它可以同时抛光或研磨多达四个晶片，与传统的研磨或抛光系统相比将节省大量时间。此外，由于包括集中过滤和冷却的浆料机，DISCO DFG860单元兼作研磨机。DFG 860工具具有自动化晶片映射功能，使用户能够输入晶片位置数据，并为每个晶片或基板创建不同的研磨模式。此资产还允许为特定应用程序设置多个用户定义和定制的研磨过程。这样可以确保用户能够控制其最终产品的大小和形状,从而在较长的生产周期内实现精确一致的性能。DFG860型号具有可容纳四个300 mm晶片的输送设备,并具有可调节的中心导轨,为晶片加载提供了较大的范围；利用垂直振动技术，晶片在研磨、研磨和抛光站之间运输。DISCO DFG 860可实现高达3500 rpm的研磨速度,可用于12英寸大小的晶片的高性能研磨。DISCO DFG860上的抛光台采用低振动、平衡抛光布轴承单元,可在低抛光力的情况下实现平滑和最佳的表面调节。通过使用定制的预编程抚摸模式，用户可以轻松实现晶圆表面的均匀抛光。DFG 860系统还自动清除抛光头中的浆渣残留物，为关键应用提供最佳的表面清洁和附着力。DFG860是一个功能强大的单元，设计了一个直观的用户界面，允许在几分钟内设置。这台机器还包括一系列选项，包括多种尺寸的抛光垫、单片和批处理能力，以及扩展连接选项的CAN总线。该工具是晶片和基板研磨、研磨和抛光的理想平台，在半导体工业以及研发中大量使用。