二手 DISCO DFG 860 #9397650 待售
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DISCO DFG 860是一种高效、精确、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在优化晶圆制造工艺。适用于直径可达8英寸(200毫米)的双层和单层晶片。全自动系统具有许多功能,可高效运行。晶片自动装卸,机组运行速度快、精度高。研磨、抛光和研磨过程都受到监控,因此任何不规则性都可以纠正,整个过程可以保持在规格范围内。机器的研磨部分配备了精确耐用的金刚石研磨轮,使单层和双层晶片都能非常精确地表面。磨石在旋转方向和平移方向上都移动,从而获得精确和均匀的结果。此外,砂轮被封闭在一个无尘的外壳中,以保护晶片免受外部污染。研磨过程也是自动化的,具有精确的线性运动和耐刮擦的研磨材料。高速旋转研磨拼盘是用来自动达到精确的表面具有连续和均匀的光洁度。抛光工艺采用专门设计的抛光垫完成,可获得精确、均匀的效果。抛光过程由计算机化的测量工具控制,因此可以对表面的精度和重复性进行严密的监控和维护。DISCO DFG860具有很高的可定制性,可以根据广泛的应用和过程进行定制,使其成为制造高质量单层和双层晶片的理想解决方桉。这种晶圆磨削、研磨和抛光设备具有自动化的特点、准确、精确的结果和耐用的结构,是任何晶圆制造设施的重要补充。
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