二手 DISCO DFM 2800 / DGP 8761 #9277917 待售

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ID: 9277917
优质的: 2012
System Thin processing below: 25 μm Diamond grinding wheel Z1, Z2 axis: φ300 mm Dry polishing wheel Z3 axis: φ450 mm 8" & 12" Common kit included 2012 vintage.
DISCO DFM 2800/DGP 8761是晶圆研磨、研磨、抛光设备,采用单一集成平台,使精密晶圆的制造成为可能。该系统为晶片的研磨、研磨和抛光提供了前所未有的高性能、准确性和可重复性。该装置采用三级研磨/研磨工艺,以产生适用于电气、光学和微机械元件的高度精确的表面。该工艺的第一阶段是用磨料涂覆的砂轮。接着是一个研磨台阶,该台阶使用一个旋转的压板将晶片与第二个更细的磨料摩擦,以消除任何毛刺或表面的不规则性。最后阶段采用经过专门设计的抛光块,以产生光滑、闪亮的光洁度。DFM 2800具有内置的自动研磨和研磨工艺,使操作员能够快速轻松地设置工艺参数并监控生产工艺。该机器还包括一个视觉工具,可以检测晶圆的不准确或缺陷。由于能够准确监控主轴的速度、运动和功率使用情况,资产的准确性和可重复性得到进一步提高。DGP 8761包含几种专有技术,可进一步提高工艺的准确性和可重复性。它采用了一种专有的砂轮设计,以最大程度地减少磨损并提供更好的去除砂砾,同时也提高了工艺精度。该模型还包含一个独特的螺距控制抛光轮设计,这有助于产生高度精确和一致的表面和边缘。DFM 2800/DGP 8761是需要极高精度和精确度的晶圆基板制造的理想解决方桉。通过实现更高水平的质量控制和可重复性,这种设备是确保晶圆生产取得一致和可靠成果的关键。
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