二手 DISCO DFP 8140 #293820676 待售

DISCO DFP 8140是DISCO公司获得专利的下一代晶圆研磨、研磨和抛光设备。DISCO DFP8140采用先进的晶圆制造技术,为各种金属、非金属和硬质材料的高精度精加工工艺提供了卓越的晶圆精度和卓越的控制,且材料浪费极少。DFP 8140从屡获殊荣的DFP 8100系列带来了一系列创新的设计和技术升级，创造了即使在极端温度和振动条件下也易于使用和维护的全自动晶圆研磨系统。DFP8140有一个完全封闭的真空室，或隔离，以减少大气干扰和交叉污染。该机组配备高功率研磨主轴和集成视觉机，配备主动冷却。主轴由无刷直流电动机驱动，转子转速可调节至60,000 rpm。在研磨阶段，使用专门的晶圆载体来旋转晶圆。金刚石圆盘或皮带用于去除外层材料，同时插入金刚石薄膜以调节晶片表面。在研磨阶段，使用两套研磨机进一步抛光晶片表面，一套用于扁平研磨，一套用于斜角研磨。扁平研磨机采用金刚石磨料和润滑剂，斜角研磨机采用低粘度、微乳液基润滑剂。两台研磨机均配有空气轴承主轴，以确保晶圆旋转均匀且无振动，并配有冷却工具在过程中保持稳定温度。在抛光阶段，晶片使用机械和化学手段进一步抛光。在机械步骤中，使用金刚石磨料来降低表面粗糙度。在化学步骤中，在表面涂上抛光剂，以达到光滑均匀的光洁度。DISCO DFP 8140的高级自动化功能为用户提供了更高的精度和控制,以实现高精度完成。该资产还配备了一套独特的硬停功能，允许对研磨和抛光效果进行超微调和精确控制。总体而言,DISCO DFP8140提供了可靠、坚固且易于使用的晶圆研磨、研磨和抛光模型,旨在满足高精度晶圆研磨和抛光工艺的要求。它的高级功能和自动化功能确保了高精度和可重复的结果。