二手 DISCO DFP 8140 #9232792 待售
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DISCO DFP 8140是晶圆研磨、研磨和抛光设备,有助于生产高质量的抛光晶圆表面,以满足当今新兴的半导体器件要求。它特别适合生产硅晶片、绝缘子上硅(SOI)晶片和其他类似的硬质材料。DISCO DFP8140包括一个旋转研磨台、一个研磨单元、一个抛光单元、一个可选的试验单元和一个磨料供应系统。旋转研磨台可用于实现各种目标几何形状,包括平面、球形、规则轮廓和椭圆形曲面。磨削单元由各种尺寸和材料的磨料磨削轮组成。此单元用于将晶片表面磨削到所需的粗糙度。抛光单元由金刚石盘和抛光液体组成。此单元用于抛光晶片表面,使其达到所需的平滑度。可选的试运行单元用于原型设计和工艺开发。除了核心元件外,DFP 8140还附有晶圆边缘剖析单元和三轴机器人晶圆处理机。晶片边缘剖面工具用于将晶片边缘剖面到所需的剖面。三轴机器人晶片处理资产用于将晶片移动和定位到相应的处理单元。DFP8140还包括一个控制台,用于监视过程和来自机器各个组件的数据。此控制台可帮助调整研磨台参数、旋转方向、旋转速度、进料速率、磨轮、抛光盘,以及监控和调整负载。DISCO DFP 8140是一种高度可靠、用途广泛、经济实惠的晶圆研磨抛光模型。它用于实现最高质量的抛光晶片表面,几乎可用于任何需要最高质量结果的应用。这种设备非常适合生产硅片、SOI晶片和其他硬质材料,用于半导体器件制造和其他相关工艺。
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