二手 DISCO DFP 8140 #9311797 待售

DISCO DFP 8140是一款精密晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在实现高质量的表面饰面和精度。利用最新技术，这种模块化系统非常适合生产需要卓越表面质量和精度的高价值半导体器件晶片。DISCO DFP8140具有一个大的加工室，非常适合大直径晶圆。一个高压气动驱动的研磨台，与压力气动研磨板相结合，有效地消除即使是最棘手的缺陷。为进一步确保质量和精度，该单元还包括一个具有独立控制的z轴的精密研磨单元。该单元采用高精度金刚石圆盘，提供出色的表面光洁度和精度。机器使用特殊的抛光垫来提供相对无应力的抛光工艺，允许较少的晶圆缺陷。抛光垫有多种图桉，适用于不同的材料和应用。晶圆伺服机器人转移工具，结合两个单独控制的用于晶圆处理的高精度转盘，确保晶圆在研磨和抛光台上的准确定位。DFP 8140具有简单的用户界面和易于理解的图形显示,用于对过程参数进行编程。资产的高精度位置编码器能够精确控制研磨和抛光垫。液晶屏上还会显示自动监控过程参数和警告,以便快速做出决策。此外，该模型允许集成外部过程监测系统，如光学和电气晶片测试。DFP8140利用计算机控制设备,该设备功能强大,足以满足半导体行业不断变化的需求,并且具有足够的价值,有助于降低人工成本。高级设计提供一致的可重复结果,同时提供可靠性和灵活性。其结果是一个自动化的系统，提高晶圆精度和产量，同时最小化过程时间。