二手 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #293633785 待售
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ID: 293633785
Wafer back grinder
Load port
Robot
Chuck table
Spindle
(2) Transfer arms
Spinner
Position
Chuck table washing
Vacuum pump
Polish residue collector
UPS
Transformer
DTU
DFM2700:
Load port
Robot
Inspection table
UV Table
Alignment table
Wafer transfer table
(2) Wafer transfer arms
Dicing tape attachment table
Dicing tape feeder
Batch cutting
Workpiece transfer arm
Protection tape peeling
Workpiece unloading
Unloader
Vacuum pump
2006 vintage.
DISCO DGP 8760+DFM 2700是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，非常适合抛光多种晶圆类型，包括多晶硅、石英和砷化氙。它旨在确保精确和精确的薄膜沉积，以满足最严格的要求，特别是在计量和MEMS行业。DISCO DGP 8760采用高精度研磨主轴实现精密再研磨，而DFM 2700则利用数字力传感器测量和控制研磨力，从而确保优越的晶片表面质量。此外,这两个系统都具有独立调节的铰接臂导轨,用于晶圆加工的精确样品对准。DGP 8760磨床配有一个控制单元,可根据可编程参数和设置监控主轴的工作状况并调整其压力。单独的空气冲洗和高速气动抛光喷射进一步加强了研磨和抛光工艺,从而确保了尽可能最好的表面光洁度,同时又不影响工艺的精度。总体而言，该系统提供了最先进的设备，具有广泛的研磨、研磨和抛光应用。其自动化过程保证了晶圆加工的可重复性和准确性。此外,它的开放式体系结构和用户友好界面为实施自定义流程和应用程序提供了灵活性。适当的保养和保养对于这个装置也是必不可少的，包括每天检查卡盘压力、夹具、车轮和主轴。定期检查散件，清洗工区残留物料，也是达到最佳性能所必需的。综上所述,DISCO DGP 8760/DFM 2700机器是晶圆研磨、研磨和抛光工艺的交钥匙解决方桉。它包括精密仪器和高级功能,为各种应用提供了最佳效果。
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