二手 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #293748558 待售

DISCO DGP 8760+DFM 2700是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，将机械精度与高性能相结合，具有优异的表面光洁度和缺陷分析。该系统设计用于干法或湿法精磨、研磨和抛光,可用于制备最常用的半导体、电子设备和MEMS晶片。DISCO DGP 8760/DFM 2700由单元控制模块和工作台组成,允许使用计算机数字控制（CNC）进行高效操作。工作台由水平研磨/研磨台和垂直抛光台组成,可在X、Y和Z轴方向上精确调整,以精确控制零件定位。采用空气轴承主轴，便于研磨、研磨、抛光操作。这种主轴能够进行高频旋转（高达12,000 rpm），可以承载高达630毫米的研磨晶片或600毫米的单面抛光晶片。研磨、研磨、抛光过程可以通过控制模块进行有效监控，这也为用户提供了研磨压力、台速、RPM等参数。DGP还配备了内置的粒子监测器，可以测量空气中的颗粒如晶圆毛刺以及润滑剂中的颗粒污染。分开的DFM 2700能够分析从正在加工的材料中分离出来的颗粒以及润滑剂中所含的颗粒。DGP 8760+DFM 2700提供坚固坚固的构造，确保其用户在使用过程中的高性能和操作员安全。此外，该机还包括精密主轴控制以及数字编程的特殊设备，允许表面饰面和缺陷分析操作的高重复性。因此,该工具非常适合半导体和电子产品的生产,确保产品质量和产量高。