二手 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #9236095 待售

DISCO DGP 8760+DFM 2700晶圆研磨、研磨、抛光设备是一种用于精密晶圆制造的自动化集成系统。DISCO DGP 8760是一款高精度、双轴磨床/抛光机，设计用于自动加工基板，研磨和抛光最优秀的特征分辨率表面。该装置旨在减少加工时间，同时消除污染风险。该机配有一个用于基板处理的集成载波机器人。机器人生成沿X轴、Y轴和倾斜轴的运动,使基板进入研磨、研磨和抛光过程。操作机器人还可以轻松地提升和降低载具之间的基板。该机器人包括多达4个用于基材和夹具装载的加工载体。DISCO DGP 8760利用先进的软件控制,使整个研磨、研磨和抛光过程自动化。该工具包括两个用于磨削直至直径8英寸的基板的车轮,只需要两个驱动程序即可操作。车轮使用卡盘机构连接和拆卸。DISCO DFM 2700是用于平滑不规则表面的双面抛光资产。此模型通常用于精密光学研磨和抛光,允许对基板进行精细和高清抛光。DFM 2700的主要特点包括：可精细调节压板运动方向和深度的伺服电机驱动设备、17 rpm的处理速度、CNC控制台以及用于底物装卸的微处理器控制机械臂。DISCO DGP 8760/DFM 2700晶圆研磨、研磨、抛光系统是一个创新的、完全集成的高精度单元，设计用于自动处理晶圆并创建精细特征分辨率曲面。这台机器采用机器人技术和先进的软件，使所有过程自动化，确保准确性和精确度，从而形成一个经济高效的晶圆生产解决方桉。