二手 DISCO DGP 8761 + DFM 2800 #293827085 待售

DISCO DGP 8761+DFM 2800是一款行业领先的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在在研磨、研磨和抛光用于集成电路制造的大型扁平基板时提供卓越的性能。该系统采用DISCO DGP 8761研磨抛光平台和DFM 2800研磨抛光平台相结合,三个磁头同时工作,以确保对直径达8英寸的晶片进行高效、准确的处理。DISCO DGP 8761研磨抛光平台采用独特的五区设计，由强大的触摸屏界面控制，并提供多种工艺套件，以有效研磨、膝盖和抛光基板。该平台配备了自动晶圆索引器以确保精确的基板加载，一个完全可集成的SEMI-flow超声波清洗单元，以及一台多步、高功率、高性能的磨料机。为确保准确一致的工艺控制，平台安装了独立的主轴和阀门，以控制施加在基板上的速度和压力。DFM 2800研磨抛光平台利用两个精密抛光头来精确地圈合和抛光直径达8英寸的基板。该平台还配备了高性能磨料浆料工具和集成冷却资产，以防止热损伤，最大限度地减少边缘倾斜的可能性。DFM 2800还具有自动晶圆高度控制模型,该模型使用非接触式传感器确保基板保持在研磨和抛光过程的最佳高度。总体而言，DISCO DGP 8761/DFM 2800是业界领先的晶圆研磨、研磨和抛光设备，在研磨、研磨和抛光大型扁平基板时提供高度的精度和灵活性。该系统将DISCO DGP 8761和DFM 2800平台的自动晶圆索引器和高精度抛光头分别与各种工艺包相结合，以确保高效准确的处理。DFM 2800的自动晶圆高度控制和集成冷却装置进一步确保了基板的精密抛光和冷却，为用户提供了更高的产量和改进的工艺流程。