二手 DISCO DGP 8761 #293764561 待售
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ID: 293764561
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2009
Grinder / Polisher, 8"
Cassette loading / Unloading
Maximum wafer thickness: 1.8mm
(3) Splindles: 320, 2000 wheels, polishing pad
Chuck, 6"-8"
Height guage: 0-1.8 mm
Alignment system
DTU1531 Chiller: 23±1°C
DISCO VG256-15Z-D07 Vacuum unit
CDA: Single channel, 0.6-0.8 MPa
Cool water: 25 L/min
DI Water: 40 L/min
Exhaust: Single channel, 160-400 Pa
3-Axis:
Z1, Z2: Grinder
Z3: Polisher
Wafer transport section:
(2) Cassettes (Left: 6",right: 8")
(2) Arms
(25) Wafer cassettes
Robot
Power supply: 3 Phase, 200 V, 50/60 Hz, 90 A
2009 vintage.
DISCO DGP 8761是一款高科技、高精度的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在确保在最苛刻的工业和研究应用中的卓越性能。它经过精心设计,以自动化、无人看管的方式产生卓越的效果,确保了高水平的晶圆研磨、研磨和抛光质量。DISCO DGP8761由研磨单元和研磨单元组成,两者均具有优异的性能。研磨单元配备高精度、高扭矩的电动机,可达到高达36000 rpm的转速。该装置还具有高精度主轴和先进的减振技术,具有卓越的表面光洁度质量。研磨装置配备了先进的驱动系统,能够在研磨和抛光过程中实现更高的精度。该单元具有两个高质量的轴承单元和一个水平运动单元,可提供对表面质量和均匀性的卓越控制。为了进一步确保表面均匀性,研磨装置配备了一个高精度的控制机器,能够精确地调节负载并准确地保持指定的表面光洁度。研磨装置和研磨装置均通过高度用户友好的图形用户界面(GUI)操作。这种直观的界面使操作员能够快速轻松地设置工具并监控其操作。此外,DGP 8761还配备了一系列诊断工具,以确保可靠和准确的操作。除了优越的研磨和研磨性能外,DGP8761还提供了无与伦比的便利和效率。它的占地面积很小,可轻松融入现有生产线,其模块化结构允许用户根据需要扩展其性能。最后但并非最不重要的是,它具有许多安全功能,包括紧急停止按钮、振动监视器和防止机器操作员受伤的"安全模式"。DISCO DGP 8761真正体现了晶圆研磨、研磨和抛光的尖端性能和精确度。凭借其直观的设计,卓越的性能和便利,迪斯科DGP8761是每一个苛刻的生产设施的完美选择。
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