二手 DISCO DGP 8761 #9364774 待售

DISCO DGP 8761是一款综合性晶圆研磨研磨抛光设备。它专为MEMS器件、SOI晶片等类似结构的量产而设计。它配备了一系列自动化处理步骤，以确保精确、高质量的结果。DISCO DGP8761采用单面抛光（SSP）方法进行研磨、研磨和抛光。其中包括一个强大的伺服控制电动机，它为系统的交叉进给表提供动力，使晶圆相对于主轴精确移动。该单元还可以配备刚性XY级,从而可以在台上处理较大的工件。机器使用金刚石磨床将材料减小到所需的厚度和精加工。金刚石磨轮有各种标准尺寸和定制尺寸，可容纳各种工件。该工具能够以最小的颗粒损耗实现超平坦的表面和紧密的表面光洁度。8761的研磨过程从表面去除不需要的材料,产生均匀的平面表面。该资产能够使用各种常规的和专门的研磨和抛光化合物，并且能够以最小的颗粒损耗产生光学平坦的表面轮廓。为确保精确完成,该模型包括一个集成的校准和检查设备。该系统有一个独特的视觉单元，用于获取工件的3D-profile。然后使用此数据对刀具路径进行任何必要的更正,以确保准确的处理参数。最后，8761设有整合式洁净室设施。它包括装有HEPA/ULPA的洁净室窗帘，以便在加工过程中将污染降至最低。它还具有一个附加的安全机器与EMF（电磁场）屏蔽敏感的应用。DGP 8761是一种技术先进的工具，设计用于精密晶圆研磨、研磨和抛光。它的高级功能使它能够持续地产生高度准确的结果,使其成为当今MEMS和SOI晶片生产设施的理想选择。