二手 DISCO IF-01-1-4 / 8-B-K01 #9142771 待售

该设备的DISCO IF-01-1-4/8-B-K01晶圆研磨、研磨和抛光系统专门设计用于在各种半导体和显示面板生产线上提供高质量和经济高效的选择性研磨、研磨和抛光。它是一种多功能主力车,为各行业提供多种光刻应用功能的多功能解决方桉。该装置完全自动化，采用双机器人臂技术，可实现晶片的自动化装卸。一个悬浮的湿磨站和一个5轴机械臂与视觉反馈振荡确保精确研磨。研磨站提供可调节的压力控制和可调节各种晶圆尺寸和基板厚度的双抛光头。它还具有4轴定位精度，可提高工艺控制和无缺陷抛光。有各种研磨和抛光消耗品，如金刚石粉末、金刚石镀金工具、平圈、金刚石涂层研磨垫等。该机器还能够达到0.1 nm Ra的最大表面粗糙度和10 u m的各种样本量的表面平面度。该工具直接兼容各类半导体和显示面板生产线，可容纳直径小至5mm的圆形晶片。它也可用于引擎盖型和旋转型抛光工艺，以达到所需的表面光洁度。其精密的软件控制资产提供了每个流程的实时日志记录，从而可以快速准确地诊断与流程相关的缺陷或其他问题。这种晶圆研磨、研磨和抛光模型是制造商的理想选择,他们正在寻找可靠且经济高效的解决方桉来提高生产效率和提高产品质量。该设备体积小巧，具有足够的灵活性，可用于广泛的应用，包括但不限于半导体晶圆研磨、研磨和抛光。其先进的自动化功能确保它是降低成本和人力的理想选择,同时确保生产的最高质量。